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国产光刻胶自给率现状:EUV为0%ArF为1%KrF为5%

来源:资质    发布时间:2024-03-15 02:44:59    浏览次数:1次
导读: ...

  众所周知,现在制作均是选用光刻工艺,而光刻工艺下,光刻胶是很重要的资料。

  光刻胶是一种具有光敏化学作用的高分子聚合物资料,外观上呈现为胶状液体。涂在硅晶圆上,作为抗刻蚀层维护衬底外表。

  当光刻机的光线照耀至涂了光刻胶的硅晶圆上时,光刻胶就会产生显着的改变,再经过后续的刻蚀等工序之后,电路图就会留在硅晶圆上了。

  所以光刻胶在芯片制作中至关重要,一起光刻胶与芯片的工艺、光刻机的光线也是对应的。

  现在从商场来看,光刻胶分为g线、i线、KrF、ArF、EUV这么5种,对应着不同的芯片工艺和光刻机的技能。

  详细依照工艺来区分的话,g线nm以上工艺,KrF一般用于250nm-130nm工艺,ArF一般用于130nm-14nm,而EUV用于EUV光刻工艺,大多数都用在7nm以下工艺。

  从全球商场来看,光刻胶主要被日本厂商独占,特别是EUV光刻胶,现在全球仅日本厂商可以出产。

  2021年商场数据为:在g线/i线、KrF、ArF、EUV光刻胶商场中,日本企业的市占率分别为61%、80%、93%,100%,整体比例超越75%。

  而之前有新闻媒体报道称,韩国厂商被日本卡脖子后,发愤图强,也可以出产EUV光刻胶了,但实践在商场上,还没有详细见到。

  而我国在光刻胶上面,高度依靠进口,依照组织给出的数据,现在在EUV光刻胶上,我国自给率为0,不过现在国内也出产不了7nm及以下的芯片,没有EUV光刻机,也用不上EUV光刻胶。

  而在ArF这种用于130nm-14nm芯片光刻胶上,国产的自给率约为1%,99%需求进口。不过近来有新闻媒体报道称,国产的ArF光刻胶现已有打破了,南大光电现已开发了多款ArF光刻胶鄙人游客户处验证,制程掩盖28nm~90nm,这算是巨大的惊喜了。

  而用于250nm-130nm工艺的KrF光刻胶,国产自给率约为5%,也就是说还有95%要进口,不过这一块也不需太过于忧虑,国产缺的是产能以及商场占有率,不是技能,国外卡不住脖子。

  在比较落后的g线、i线光刻胶上面,国产率超越20%了,究竟这种技能门槛不高,之所以没到达100%国产,原因更多的仍是产能影响,不是技能。

  可见开展我国芯,光刻胶同样是需求打破的,EUV暂时不提,国内暂时也用不上。可是ArF光刻胶,它是用于14nm-130nm的光刻胶,是当时最重要的光刻胶之一了,也是国内最需求的光刻胶,咱们可不能被国外卡住了脖子,你觉得呢?



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