跟着芯片制作工艺的继续微缩，光刻机在曩昔几十年里也有了跨越性的开展。现在正在被台积电等先进工厂选用的EUV光刻记，更是成为了咱们照顾的焦点。
终究光刻机是怎样作业的？咱们的视点来看一下ASML的科普。而要了解其原理，首先从了解其外面的维护壳开端。
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